カガワ ユタカ
  香川 豊
   所属   片柳研究所 研究者
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1978
形態種別 学術論文
標題 アルカリハライドのAr+イオンによるスパッタ率の温度依存性
執筆形態 共著
掲載誌名 真空
掲載区分国内
巻・号・頁 21(3),92-95頁
著者・共著者 香川 豊, 島 芳延, 川村隆明, 市ノ川竹男
概要 原著論文