カガワ　ユタカ   香川　豊    所属   学長 学長    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2013
形態種別	学術論文
標題	Micro/submicro grating fabrication on metals for deformation measurement based on ultraviolet nanoimprint lithography
執筆形態	共著
掲載誌名	OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING
巻・号・頁	51(7),944-948頁
著者・共著者	Q. Wang, S. Kishimoto, Y. Tanaka, Y. Kagawa
概要	原著論文