カガワ ユタカ
  香川 豊
   所属   片柳研究所 研究者
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2013
形態種別 学術論文
標題 Micro/submicro grating fabrication on metals for deformation measurement based on ultraviolet nanoimprint lithography
執筆形態 共著
掲載誌名 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING
巻・号・頁 51(7),944-948頁
著者・共著者 Q. Wang, S. Kishimoto, Y. Tanaka, Y. Kagawa
概要 原著論文