カガワ ユタカ
  香川 豊
   所属   片柳研究所 研究者
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2004
形態種別 学術論文
標題 Local stress distribution in thermally-grown-oxide layer by near-field optical microscopy
執筆形態 共著
掲載誌名 SCRIPTA MATERIALIA
巻・号・頁 50(1),137-141頁
著者・共著者 T. Tomimatsu, S.J. Zhu, Y. Kagawa
概要 原著論文