カガワ　ユタカ   香川　豊    所属   学長 学長    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2004
形態種別	学術論文
標題	Local stress distribution in thermally-grown-oxide layer by near-field optical microscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	SCRIPTA MATERIALIA
巻・号・頁	50(1),137-141頁
著者・共著者	T. Tomimatsu, S.J. Zhu, Y. Kagawa
概要	原著論文