タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2022/03
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
査読	査読あり
標題	Optimization of RF frequency in dual-frequency capacitively coupled plasma equipment using coupled calculation of plasma simulation and genetic algorithm (GA)
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceeding of 14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
掲載区分	国内
出版社・発行元	14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
総ページ数	1
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	Shigeyuki Takagi, Suguru Kawamura, and Makoto Sekine