タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2022/01
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Ar/SF6 plasma simulation for dual-frequency capacitively coupled plasma incorporating gas flow simulation and secondary electron emission
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国内
出版社・発行元	日本応用物理学会
巻・号・頁	61(1),pp.SA1009-1-SA1009-7
総ページ数	7
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	Shigeyuki Takagi, Suguru Kawamura and Makoto Sekine
外部リンクURL	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac1eab