タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998/01
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Development of key components and technologies for a high repetition rate and high-power excimer laser
執筆形態	共著
掲載誌名	Review of Scientific Instrument
出版社・発行元	American Institute of Physics
巻・号・頁	69(1),pp.1-9
著者・共著者	Tatsumi Goto, Kouji Kakizaki, Sabrou Satoh, Shinichirou Kosugi, Takashi Oishi, Yukio Kanazawa, Akira Ishii, Tsuneharu Teranishi