タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2003/09
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Ab Initio Calculation of F Atom Desorption in Tungsten Chemical Vapor Deposition Process Using WF6 and H2.
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	42(9),5751-5752頁
著者・共著者	Kazuhito Nishitani, Masaaki Kano, Toshiyuki Yokosuka