タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005/03
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Topography simulations for contact formation involving reactive ion etching, sputtering and chemical vapor deposition
執筆形態	共著
掲載誌名	Jounal of Vacumm Science & Technology
出版社・発行元	American Vacuum Society
巻・号・頁	B23(3),pp.1076-1083
著者・共著者	S.Onoue, K.Iyanagi, K.Nishitani and T.Shinmura