イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011/04
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	超高Δ石英系導波路に於ける紫外光誘起屈折率変化
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会技術研究報告（信学技報）R（信頼性）
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人　電子情報通信学会
巻・号・頁	111(14),27-31頁
総ページ数	5
著者・共著者	阿部淳、伊東雅之、小湊俊海、那須悠介、井藤幹隆
概要	超高 Δ 石英系光回路を構成する導波路として有望とされる Ta_2O_5 添加石英系導波路, 並びに SiON 導波路に関して, ArF エキシマレ-ザ-光を照射し, 誘起される屈折率変化, 及び損失変化に関する特性をアレイ導波路波長合分波器 (AWG) を用いて評価した. 又, 誘起屈折率変化, 誘起損失の熱緩和特性を評価し, 光回路における光路長調整応用に関して検討した.