イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Ga Focused Ion Beam Shallow-Implanted Quantum Wires（Ga集束イオンビームシャロウ注入量子細線）
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Science and Technology
掲載区分	国外
巻・号・頁	B15,pp.1657
著者・共著者	Masayuki Itoh, Tadashi Saku, Yoshiro Hirayama and Seigo Tarucha（伊東雅之、佐久規、平山祥郎、樽茶清悟）
概要	Related to the doctoral dissertation（学位論文に関する内容） Ga集束イオンビーム注入法で、ダメージを最小限に抑えるシャロウ注入法を開発し、高品質な量子細線の形成に成功した。