イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Transport Properties of Modulation-Doped Structures Grown by Molecular Beam Epitaxy after Focused Ion Beam Implantation（集束イオンビーム注入後の分子線エピタキシー成長法を用いた変調ドープ構造の電子輸送特性）
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国内
巻・号・頁	33,pp.771
著者・共著者	Masayuki Itoh, Tadashi Saku, Toshimasa Fujisawa, Yoshiro Hirayama and Seigo Tarucha（伊東雅之、佐久規、藤澤利正、平山祥郎、樽茶清悟）
概要	Related to the doctoral dissertation（学位論文に関する内容） 高品質な量子細線形成を目的として新しい技術であるFIB-MBE接続システムを構築し、集束イオンビーム注入後の分子線エピタキシー成長法を用いた変調ドープ構造の電子輸送特性を評価した。