イトウ マサユキ   ITOH MASAYUKI
  伊東 雅之
   所属   医療保健学部 臨床工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1992/07
形態種別 国際会議論文
査読 査読あり
標題 High-Mobility Quantum Wires Fabricated by Ga-FIB Shallow Implantation(Ga集束イオンビーム(Ga-FIB)シャロウ注入法による高移動度量子細線)
執筆形態 共著
掲載誌名 Digest of Papers MicroProcess '92, The 5th International MicroProcess Conference,
掲載区分国内
出版社・発行元 Kawasaki, Japan
巻・号・頁 pp.108-109
著者・共著者 Masayuki Itoh, Tadashi Saku and Seigo Tarucha(伊東雅之、佐久規、樽茶清悟)
概要 July 13-16 1992
Related to the doctoral dissertation(学位論文に関する内容)
Ga集束イオンビーム(Ga-FIB)シャロウ注入法の開発経緯と形成した量子細線の電子輸送特性を評価して、従来に比べ格段に低ダメージである高移動度量子細線であることを示した。