イトウ　マサユキ   ITOH MASAYUKI   伊東 雅之    所属   医療保健学部 臨床工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Low-energy Focused-Ion-Beam Shape Observation and its Noise Reduction for Nanofabrication（低エネルギー集束イオンビーム形状観察とナノ加工応用のためのノイズ低減）
執筆形態	共著
掲載誌名	Microelectronic Engineering
掲載区分	国外
巻・号・頁	40,pp.21-34
著者・共著者	Masayuki Itoh, Yoshiro Hirayama and Seigo Tarucha（伊東雅之、平山祥郎、樽茶清悟）
概要	Main paper Related to the doctoral dissertation Two types of noise from the variable landing-energy focused-ion-beam (FIB) system appeared. These noises could be greatly reduced by locating a new aperture. Using this refined FIB system, low landing-energy-ion-beams should be able to be applied to fabricate high-quality mesoscopic devices.