エガシラ ヤスユキ
江頭 靖幸
所属
工学部 応用化学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1992
形態種別
解説記事
標題
ＣＶＤ成膜種としてのクラスターとその付着確率 －AlCl
3
とNH
3
からのＣＶＤによるAlN合成の例－
執筆形態
共著
掲載誌名
表面
巻・号・頁
30(12),1016-21頁
著者・共著者
小宮山 宏、金 煕濬、江頭 靖幸、大沢 利男