エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1994
形態種別	学術論文
標題	Cluster Size Determination in the Chemical Vapor Deposition of Aluminum Nitride -Cluster size Determination from Diffusivity in the Presence of Particles in the Gas Phase-
執筆形態	共著
掲載誌名	J. Am. Ceram. Soc.
巻・号・頁	77,pp.2009-16
著者・共著者	Y.Egashira, H.J.Kim and H.Komiyama