エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1999
形態種別	学術論文
標題	Area-Controlled CVD using Catalytic Reaction
執筆形態	共著
掲載誌名	J.Chem.Eng.Jpn.
巻・号・頁	32,pp.268-273
著者・共著者	N.Mori, W.Sidokmai, Y.Egashira and K.Ueyama