エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000
形態種別	学術論文
標題	Kinetic Study of CVD Reaction by Area-Controlled CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	J.Chem.Eng.Jpn.
巻・号・頁	33,pp.32-40
著者・共著者	N.Mori, Y.Egashira and K.Ueyama