マエダ ナリヒコ
  前田 就彦
   所属   工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2023/09
形態種別 学術講演予稿集(学会、研究会を含む)
標題 表面パッシベーション用SiN膜の絶縁性制御
執筆形態 共著
掲載誌名 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
掲載区分国内
出版社・発行元 応用物理学会
巻・号・頁 21p-P06-11頁
総ページ数 1
担当区分 責任著者
著者・共著者 鳥井 理玖、村山 悠稀、高橋 智秀、鶴巻 綾、木村 充晃、神尾 岳、藤岡 洋、前田 就彦