マエダ　ナリヒコ   前田　就彦    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2019/03
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題	GaN の酸化膜形成2段階ウェットエチング法における酸化膜の電気的評価
執筆形態	共著
掲載誌名	第66回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
掲載区分	国内
出版社・発行元	応用物理学会
巻・号・頁	19a-I46-2頁
著者・共著者	清藤 泰治, 牧繪 哲男, 藤岡 洋, 前田 就彦
概要	GaNにおいて低ダメージかつ制御性の高いエッチングの方法として提案した2段階ウェットエッチング法において、陽極酸化したGaNの電気的特性の評価を行ったところ、陽極酸化を行ったGaN領域では陽極酸化前に比べて電気抵抗が約3倍になっているとの知見を得たことを報告した。