マエダ　ナリヒコ   前田　就彦    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2018/09
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題	GaNの酸化膜形成2段階ウェットエッチング法の提案
執筆形態	共著
掲載誌名	第79回応用物理学会秋季学術講演会講予稿集
掲載区分	国内
出版社・発行元	応用物理学会
巻・号・頁	19a-I46-2頁
著者・共著者	清藤 泰治, 牧繪 哲男, 藤岡 洋, 前田 就彦
概要	GaNにおいて低ダメージかつ制御性の高いエッチングの方法として、電気化学的手法を用いたGaNの陽極酸化と酸化物除去を組み合わせた2段階ウェットエッチング法が有効であることを示し、新しいエッチング法として提案を行った。