マエダ　ナリヒコ   前田　就彦    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2018/03
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題	AlGaN/GaNヘテロ構造上Ti/Al/Ti/Auオーミック電極の高温接触抵抗評価
執筆形態	共著
掲載誌名	第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
掲載区分	国内
出版社・発行元	応用物理学会
巻・号・頁	20p-P6-7頁
著者・共著者	牧繪 哲男, 渡辺 雄太朗, 藤岡 洋, 前田 就彦
概要	高温高出力の高周波応用および電力応用に非常に有望なAlGaN/GaNヘテロ構造FETで用いるオーミック電極の特性を高温も含めて評価することは、オーミック特性の機構に関する知見を得、電極特性向上への指針を得る上でも有用であることを、Ti/Al/Ti/Auオーミック電極の高温接触抵抗を評価することにより示した。