キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2004
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	酸素プラズマ中でのSi 表面水素の挙動
執筆形態	共著
掲載誌名	表面科学
出版社・発行元	0
巻・号・頁	25(9),541-547頁
著者・共著者	篠原正典, 片桐輝昭, 岩辻圭太郎, 松田良信, 藤山寛, 木村康男, 庭野道夫