キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2001
形態種別	学術講演予稿集（学会、研究会を含む）
標題	SiGe表面へのSiH4の吸着過程
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会論文誌C
出版社・発行元	0
巻・号・頁	J84-C(9),883-887頁
担当範囲	0
著者・共著者	鎌倉 望, 瀬山 顕雄, 篠原 正典, 木村 康男, 庭野 道夫