キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2008
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Atomic-layer-deposition of SiO2 with tris(dimethylamino)silane (TDMAS) and ozone investigated by infrared absorption spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	ECS Transactions
出版社・発行元	0
巻・号・頁	13(1),pp.171-177
著者・共著者	Hirose F., Kinoshita Y., Shibuya S., Miya H., Hirahara K., Kimura Y., Niwano M.