キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2009
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Low-temperature-atomic-layer-deposition of SiO2 with tris(dimethylamino)silane (TDMAS) and ozone using temperature controlled water vapor treatment
執筆形態	共著
掲載誌名	ECS Transactions
出版社・発行元	0
巻・号・頁	19(2),pp.417-426
著者・共著者	Hirose F., Kinoshita Y., Shibuya S., Narita Y., Miya H., Hirahara K., Kimura Y., Niwano M.