キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Chlorosilane adsorption on clean Si surfaces: Scanning tunneling microscopy and Fourier-transform infrared absorption spectroscopy studies
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Science and Technology A
出版社・発行元	0
巻・号・頁	19(4),pp.591-596
担当範囲	0
著者・共著者	Masayasu Nishizawa, Tetsuji Yasuda, Satoshi Yamasaki, Masanori Shinohara, Nozomu Kamakura, Yasuo Kimura, Michio Niwano