ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	“The formation of SGOI structures with low dislocation density by a two-step oxidation and condensation method”
執筆形態	共著
掲載誌名	Semiconductor Science and Technology
掲載区分	国外
巻・号・頁	22,pp.S59
著者・共著者	N. Sugiyama, S. Nakaharai, N. Hirashita, T. Tezuka, Y. Moriyama, K. Usuda, S. Takagi,