ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	“Strain analysis in ultrathin SiGe-on-insulator layers formed from strained Si-on-insulator substrates by Ge-condensation process”
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Physics Letters
掲載区分	国外
巻・号・頁	90, 181918
著者・共著者	T. Tezuka, N. Hirashita, Y. Moriyama, S. Nakaharai, N. Sugiyama, S. Takagi,