ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2009
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	“Study of the surface cleaning of GOI and SGOI substrates for Ge epitaxial growth”
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Surface Science
掲載区分	国外
巻・号・頁	256,pp.823
著者・共著者	Y. Moriyama, N. Hirashita, K. Usuda, S. Nakaharai, N. Sugiyama, E. Toyoda, S. Takagi,
概要	インパクトファクタ：6.707, 被引用回数：8回