ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2005
形態種別	学術雑誌,解説・総説
招待論文	招待あり
標題	「シリコン・オン・インシュレータ（SOI）基板構造の歪局ひずみ評価」
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Society of Japan（真空）
掲載区分	国内
巻・号・頁	48(No. 1),18-22頁
著者・共著者	臼田宏治, 水野智久, 沼田典則, 手塚勉, 杉山直治, 守山佳彦, 中払周 , 高木信一