ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Experimental evidence of low dislocation density of SiGe-on-insulator substrates fabricated by oxidizing SiGe/SOI structures”
執筆形態	共著
掲載誌名	Extended Abstract of 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.146
著者・共著者	N. Sugiyama, Y. Moriyama, T. Tezuka, T. Mizuno, S. Nakaharai, K. Usuda, and S. Takagi,