ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Fabrication of SiGe-on-insulator substrates for high-performance strained SOI-MOSFETs by Ge-condensation technique”
執筆形態	共著
掲載誌名	203rd Electrochemical Society Meeting
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.305
著者・共著者	T. Tezuka, N. Sugiyama, T. Mizuno, S. Nakaharai, S. Takagi,