ナカハライ　シュウ   中払　周    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2006
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	“Examination of the surface cleaning of GOI and SGOI substrates for Ge epitaxial growth”
執筆形態	その他
掲載誌名	the 2006 Joint International Electrochemical Society Meeting, ECS Transactions
掲載区分	国外
巻・号・頁	3(7),pp.1183
著者・共著者	Y. Moriyama, N. Hirashita, E. Toyoda, K. Usuda, S. Nakaharai, N. Sugiyama and S. Takagi,