エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2000
形態種別	学術論文
標題	概要設計を目的とした基板加熱型CVD反応器のモデル化
執筆形態	共著
掲載誌名	化学工学論文集
巻・号・頁	第26巻(第6号),798-803頁
著者・共著者	大木 亨二、江頭 靖幸、小宮山 宏