キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2012
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	IR study of fundamental chemical reactions in atomic layer deposition of HfO2 with tetrakis(ethylmethylamino)hafnium (TEMAH), ozone, and water vapor
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Surface Science
出版社・発行元	0
巻・号・頁	258(0),pp.7726-7731
著者・共著者	F. Hirose, Y. Kinoshita, K. Kanomata, K. Momiyama, S. Kubota, K. Hirahara, Y. Kimura, M. Niwano