キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Infrared study of carbon incorporation during chemical vapor deposition of SiC using methylsilanes
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Surface Science
出版社・発行元	0
巻・号・頁	175/176(0),pp.591-596
担当範囲	0
著者・共著者	Masanori Shinohara, Yasuo Kimura, Daisei Shoji and Michio Niwano