エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2003
形態種別	解説記事
標題	半導体層間絶縁膜としての周期構造ポーラスシリカ膜の合成
執筆形態	共著
掲載誌名	膜(MEMBRANE)
巻・号・頁	28,177-184頁
著者・共著者	西山憲和, 田中俊輔, 江頭靖幸, 奥 良彰, 上山惟一