タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2023/11
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Optimization of RF Frequencies in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma Apparatus Using Genetic Algorithm (GA) and Plasma Simulation
執筆形態	共著
掲載誌名	IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
掲載区分	国外
出版社・発行元	Institute of Electrical and Electronics Engineers
巻・号・頁	36(4),pp.547-552
総ページ数	6
担当区分	筆頭著者
外部リンクURL	https://ieeexplore.ieee.org/document/10143355