キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2009/12
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Surfactant Adsorption on Single-Crystal Silicon Surfaces in TMAH Solution: Orientation-Dependent Adsorption Detected by In Situ Infrared Spectroscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Microelectromechanical systems
出版社・発行元	0
巻・号・頁	18(6),pp.1345-1356
著者・共著者	Prem Pal, Kazuo Sato, Miguel A. Gosalvez, Yasuo Kimura, Ken-Ichi Ishibashi, Michio Niwano, Hirotaka Hida, Bin Tang, and Shintaro Itoh