ホソダ　ナオエ   細田　奈麻絵    所属   片柳研究所 研究者    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995
形態種別	国際会議論文
標題	A Novel Approach to Assembly and Interconnection for Micro Electro Mechanical System
執筆形態	その他
掲載誌名	Proc. IEEE Micro Electro Mechanical System
出版社・発行元	IEEE
巻・号・頁	pp.413-418
著者・共著者	T.Suga and N.Hosoda