ホソダ　ナオエ   細田　奈麻絵    所属   片柳研究所 研究者    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1999
形態種別	国際会議論文
標題	Integration of dissimilar materials by room-temperature wafer bonding using Ar beam surface activation
執筆形態	その他
掲載誌名	10th Int. Conference on Solid-State Sensor and Actuators
巻・号・頁	pp.1328-1331
著者・共著者	H. Takagi, R. Maeda, N. Hosoda, T. Suga