エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2006
形態種別	学術論文
標題	Vapor infiltration techniques for spin-on mesoporous silica films
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
巻・号・頁	495,pp.186-190
著者・共著者	S. Tanaka, H. Tada, T. Maruo, N. Nishiyama, Y. Egashira, K. Ueyama