キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Infrared study of tris(dimethylamino)silane adsorption and ozone irradiation on Si(100) surfaces for ALD of SiO2
執筆形態	共著
掲載誌名	Electrochem. Solid-State Lett.
出版社・発行元	0
巻・号・頁	10,pp.G80-G83
著者・共著者	Yuta Kinoshita, Fumihiko Hirose, Hironobu Miya, Kazuhiro Hirahara, Yasuo Kimura, and Michio Niwano