タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2022/12
形態種別	国際会議論文
査読	査読あり
標題	Optimization of RF Frequencies in Dual-frequency Capacitively Coupled Plasma Apparatus Using Genetic Algorithm (GA) and Plasma Simulation
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of International Symposium on Semionductor Manufacturing Hybrid Symposium
掲載区分	国内
出版社・発行元	International Symposium on Semionductor Manufacturing Hybrid Symposium 2022
巻・号・頁	pp.PO-028-1-PO-028-3
総ページ数	3
担当区分	筆頭著者
著者・共著者	Shigeyuki Takagi, Tatsuhiro Nakaegawa, Shih-Nan Hsiao, Makoto Sekine