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キムラ ヤスオ
木村 康男 所属 工学部 電気電子工学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2000 |
| 形態種別 | 学術論文 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | In-situ Infrared Observation of Etching and Oxidation Processes at Si Surface in NH4F Solution |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Journal of The Electrochemical Society |
| 出版社・発行元 | 0 |
| 巻・号・頁 | 147(4),pp.1555-1559 |
| 担当範囲 | 0 |
| 著者・共著者 | Michio Niwano, Yusuke Kondo, Yasuo Kimura |