ホソダ　ナオエ   細田　奈麻絵    所属   片柳研究所 研究者    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000
形態種別	国際会議論文
標題	Room Temperature Direct Bonding of CMP-Cu Film
執筆形態	その他
掲載誌名	Technical Digest of the Fifth VLSI Packaging Workshop of Japan
巻・号・頁	pp.113-114
著者・共著者	Shigeto, N. Hosoda, T. Itoh and T. Suga