ナカハライ シュウ
  中払 周
   所属   工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2006
形態種別 学術論文
査読 査読あり
標題 “Lattice relaxation and dislocation generation/annihilation in SiGe-on-insulator layers during Ge condensation process”
執筆形態 共著
掲載誌名 Thin Solid Films
掲載区分国外
巻・号・頁 508,pp.251
著者・共著者 T. Tezuka, Y. Moriyama, S. Nakaharai, N. Sugiyama, N. Hirashita, E. Toyoda, Y. Miyamura, S. Takagi,
概要 インパクトファクタ:2.183, 被引用回数:34回