キムラ　ヤスオ   木村　康男    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1999
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Effects of elastic stress introduced by a silicon nitride cap on solid-phase crystallization of amorphous silicon
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Applied Physics
出版社・発行元	0
巻・号・頁	86(4),pp.2278-2280
担当範囲	0
著者・共著者	Yasuo Kimura, Masaoto Kishi and Takashi Katoda