タカギ　シゲユキ   高木　茂行    所属   工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2021/01
形態種別	学術論文
査読	査読あり
標題	Plasma simulation for dual-frequency capacitively coupled plasma incorporating　gas flow simulation
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
出版社・発行元	日本応用物理学会
巻・号・頁	60(1),pp.SAAB07-1-SAAB07-7
著者・共著者	Shigeyuki Takagi1, Takumi Chikata, Makoto Sekine
外部リンクURL	https://doi.org/10.35848/1347-4065/abc106