エガシラ　ヤスユキ   江頭　靖幸    所属   工学部 応用化学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2008
形態種別	学術論文
標題	Disordered mesoporous Silica Low-k Thin Films Prepared by Vapor Deposition into a Triblock Copolymer Template Film
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
巻・号・頁	516,pp.4771-4776
著者・共著者	T. Maruo, S. Tanaka, H. W. Hillhouse, N. Nishiyama, Y. Egashira, K. Ueyama